多功能晶圆及膜片架操持系统

摘要

一种多功能晶圆和膜片架操持系统包括晶圆台组件，其具有提供被构造为承载晶圆或膜片架的超平面晶圆台表面的晶圆台；以及下述中的至少一个：展平设备，其被构造为在与晶圆台表面垂直方向上将向下的力自动地施加到翘曲或非平面的晶圆的各部分；移位限制设备，其被构造为在所施加的负压停止并且经由晶圆台将正压施加到晶圆的下侧之后自动地约束或防止晶圆相对于晶圆台表面的非受控的横向运动；以及旋转错位补偿设备，其被构造为自动地补偿安装在膜片架上的晶圆的旋转错位。

主权项

一种用于操持晶圆和其上安装有晶圆或其一部分的系统，每个晶圆具有外围和表面区域，每个膜片架包括其上安装晶圆或其一部分并且由所述膜片架支撑的对应的膜片，所述系统包括：晶圆台组件，所述晶圆台组件包括晶圆台，所述晶圆台提供被构造为承载晶圆或膜片架的超平面晶圆台表面，所述晶圆台组件被构造为将负压或正压施加到晶圆的下侧或者膜片架的其上安装所述晶圆的膜片的下侧；以及膜片架操持设备；以及下述中的至少一个：展平设备，所述展平设备被构造为在与所述晶圆台表面垂直的方向上将向下的力自动地施加到翘曲或非平面的晶圆的多个部分；移位限制设备，所述移位限制设备被构造为在所施加的负压停止以及经由所述晶圆台将正压施加到所述晶圆的下侧之后自动地约束或防止晶圆相对于所述晶圆台表面的非受控的横向运动。