一种适用于铜表面的超声波清洗工艺

摘要

本发明提供了一种适用于铜表面的超声波清洗工艺，工艺步骤如下：1）预清洗，采用热浸洗或喷洗的方法将工件上的污染物软化、分离、溶解；2）粗洗，在水基清洗剂的作用下，超声波清洗将工件表面的污垢剥离脱落；3）精洗，采用超声波漂洗，用纯水洗去工件表面所残留的清洗介质；4）高压冲淋，采用全方位从上至下的方式进行高压纯水喷射，以冲洗小盲孔及缝隙中的污染介质，采用热风烘干；所述水基清洗剂的组成配比如下：表面活性剂KE-1 0.8-1.2g/l，表面活性剂AES  2.0-2.5g/l，表面活性剂NP-10 2.2-2.6g/l，助洗剂0.5-0.6g/l，复合缓蚀剂0.8-1g/l，溶剂为水。

主权项

一种适用于铜表面的超声波清洗工艺，其特征在于：工艺步骤如下：1）预清洗采用热浸洗或喷洗的方法将工件上的污染物软化、分离、溶解；2）粗洗在水基清洗剂的作用下，超声波清洗将工件表面的污垢剥离脱落；3）精洗采用超声波漂洗，用纯水洗去工件表面所残留的清洗介质；4）高压冲淋采用全方位从上至下的方式进行高压纯水喷射，以冲洗小盲孔及缝隙中的污染介质，采用热风烘干；所述水基清洗剂的组成配比如下：表面活性剂KE‑1     0.8‑1.2 g/l表面活性剂AES     2.0‑2.5 g/l表面活性剂NP‑10    2.2‑2.6 g/l助洗剂              0.5‑0.6 g/l复合缓蚀剂          0.8‑1 g/l溶剂为水。