具透光锥结构之图形化基板及其制造方法;PATTERN SUBSTRATE WITH LIGHT-CONE STRUCTURES AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

摘要

本发明系有关于一种具透光锥结构之图形化基板及其制造方法，主要包括有一基板、复数个透光锥，以及一Ⅲ族氮化物薄膜；本发明系于基板上以显影与乾式蚀刻制程形成复数个呈圆锥状且折射率低于基板之透光锥，再均匀覆盖一层Ⅲ族氮化物薄膜，以形成适用于发光二极体之具透光锥结构的图形化基板；藉此，透过基板表面透光锥形成之非平整性与Ⅲ族氮化物薄膜之缓冲特性，可提升发光二极体的光萃取效率与改善晶格不匹配所产生的错位差排现象，有效增加后续磊晶制程之良率。