第三族氮化物奈米线电晶体

主权项

一种第三族氮化物电晶体，包含：一奈米线，设置在一基板上，其中该奈米线之纵向长度进一步包含：一第一第三族氮化物材料之通道区；一源极区，与该通道区之第一端电性耦合；及一汲极区，与该通道区之第二端电性耦合，一闸极堆叠，包含一闸极绝缘体及一闸极导体，其完全地同轴环绕该通道区，及一第二第三族氮化物材料，沿着该通道区之至少一部分设置在该第一第三族氮化物材料及闸极堆叠之间。