发明名称 | QCM传感器及其制造方法 | ||
摘要 | 在QCM传感器及其制造方法中,以提高QCM传感器的灵敏度为目的。QCM传感器的特征在于,具有石英板(2)、以及分别设置于石英板(2)的一方的主面(2a)与另一方的主面(2b)的电极(3),在电极(3)设置有在俯视时具备轮廓线P的图案(23)。 | ||
申请公布号 | CN104541148A | 申请公布日期 | 2015.04.22 |
申请号 | CN201280075178.1 | 申请日期 | 2012.08.10 |
申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 丑込道雄 |
分类号 | G01N5/02(2006.01)I | 主分类号 | G01N5/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 舒艳君;李洋 |
主权项 | 一种QCM传感器,其特征在于,具有:石英板;以及电极,其分别设置于所述石英板的一方的主面和另一方的主面,在所述电极设置有在俯视时具备轮廓线的图案。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |