发明名称 QCM传感器及其制造方法
摘要 在QCM传感器及其制造方法中,以提高QCM传感器的灵敏度为目的。QCM传感器的特征在于,具有石英板(2)、以及分别设置于石英板(2)的一方的主面(2a)与另一方的主面(2b)的电极(3),在电极(3)设置有在俯视时具备轮廓线P的图案(23)。
申请公布号 CN104541148A 申请公布日期 2015.04.22
申请号 CN201280075178.1 申请日期 2012.08.10
申请人 富士通株式会社 发明人 丑込道雄
分类号 G01N5/02(2006.01)I 主分类号 G01N5/02(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 舒艳君;李洋
主权项 一种QCM传感器,其特征在于,具有:石英板;以及电极,其分别设置于所述石英板的一方的主面和另一方的主面,在所述电极设置有在俯视时具备轮廓线的图案。
地址 日本神奈川县