| 发明名称 | 一种光刻板搬移装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻板搬移装置，包括平台两侧的滑轨(1)，搬运部件(2)，夹持部件(3)，搬运部件(2)底部两头下端设有卡扣，滑轨(1)上设有卡槽，搬运部件(2)能在滑轨(1)上前后移动。所述夹持部件(3)包括立柱(6)，夹持手臂(7)，所述立柱(6)上有导轨(4)，所述夹持手臂(7)可在导轨(4)上上下移动，搬运部件(2)设有导轨(4)，搬运手臂(5)，搬运手臂(5)能在导轨(4)上上下移动。本发明实现半导体产线光刻板在不同的存储盒子之间非人工接触并简单快速转换移动，减少了灰尘，人的手指触摸带来的污损，同时更加精确与高效。 | ||
| 申请公布号 | CN104495357A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201410766555.7 | 申请日期 | 2014.12.12 |
| 申请人 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 发明人 | 丁万春 |
| 分类号 | B65G47/74(2006.01)I | 主分类号 | B65G47/74(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 | 代理人 | 蒋路帆 |
| 主权项 | 一种光刻板搬移装置，包括平台两侧的滑轨(1)，搬运部件(2)，夹持部件(3)，其特征在于：搬运部件(2)底部两头下端设有卡扣，滑轨(1)上设有卡槽，搬运部件(2)能在滑轨(1)上前后移动；所述夹持部件(3)包括立柱(6)，夹持手臂(7)，所述立柱(6)上有导轨(4)，所述夹持手臂(7)可在导轨(4)上上下移，搬运部件(2)设有导轨(4)，搬运手臂(5)，搬运手臂(5)能在导轨(4)上上下移动。 | ||
| 地址 | 226004 江苏省南通市崇川路288号 | ||