| 摘要 |
<p>電気鋳造により多段部品を形成するための、多段接続の接続工程を省力化できる電気鋳造による多段転写金型の製造方法、その多段転写金型、及びそれによる部品を提供する。金属基板上に、所望のアスペクト比を有し、且つ、その側壁が所望の角度αを有する部品形状のレジストパターンを形成するステップと、レジストパターン上に、上部層と接続するための接続柱の形状と厚さとを得るための接続柱の形状のレジストパターンを形成するステップと、接続柱の形状のレジストパターンが形成されたレジストパターンを電気鋳造により所定の厚さに達するまで埋め尽くして転写金型を作製するステップと、転写金型を金属基板から引き離してマスタ金型を作製するステップと、を含む。</p> |
