摘要 |
Газочутливий пристрій, що містить вимірювальний міст з чотирьох елементів, два із яких являються польовими МДН-транзисторами з газочутливим затвором. Як всі чотири елементи використовуються польові МДН-транзистори, причому два МДН-транзистори з позитивним знаком газочутливості розташовані в протилежних плечах мосту, являють собою МДН-транзистори з індукованим каналом на основі напівпровідника n-типу провідності, а два інших, з негативним знаком газочутливості, на основі напівпровідника р-типу. |