カーボンナノチューブ配向集合体の製造装置及び製造方法

摘要

本発明のカーボンナノチューブ配向集合体の製造装置は、原料ガスを基材（１１１）上に噴射する噴射口（１２ａ）を備える噴射部（１２）と、原料ガスを排出する排気口（１５）と、排気口（１３ａ）が複数設けられた排気部（１３）と、を備え、複数の排気口（１３ａ）が、複数の噴射口（１２ａ）より排気口（１５）に近い側にある。