| 发明名称 | 基板反转搬送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板反转搬送装置，其能够以较短的作业时间高效地使基板反转并交付至下一作业平台。该基板反转搬送装置包括：吸附搬送机构(2)，吸附应反转的基板(W)并交付至反转机构(3)；及反转机构(3)，使自吸附搬送机构(2)接收到的基板(W)反转并交付至下一步骤的平台(4)；吸附搬送机构(2)与反转机构(3)可向相互接近、背离的方向移动地形成，且以如下方式形成，即在吸附搬送机构(2)与反转机构(3)移动至相互接近的基板交付位置时，进行自吸附搬送机构(2)向反转机构(3)交付基板(W)，且在吸附搬送机构(2)与反转机构(3)相互远离的位置，进行利用吸附搬送机构(2)的基板(W)的吸附动作与(W)自反转机构(3)向下一步骤的平台(4)的基板的交付动作。 | ||
| 申请公布号 | CN104418496A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201410186681.5 | 申请日期 | 2014.05.05 |
| 申请人 | 三星钻石工业股份有限公司 | 发明人 | 上野勉 |
| 分类号 | C03B33/03(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I | 主分类号 | C03B33/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 沈锦华 |
| 主权项 | 一种基板反转搬送装置，其特征在于包括：吸附搬送机构，吸附应反转的基板并交付至下述反转机构；及反转机构，使自该吸附搬送机构接收到的基板反转并交付至下一步骤的平台上；且所述吸附搬送机构与所述反转机构可在相互接近、背离的方向移动地形成，且以如下方式形成，即在所述吸附搬送机构与所述反转机构移动至相互接近的基板交付位置时，进行自所述吸附搬送机构向所述反转机构交付基板，且在所述吸附搬送机构与所述反转机构相互远离的位置，进行利用所述吸附搬送机构的基板的吸附动作与自所述反转机构向下一步骤的平台的基板的交付动作。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||