发明名称 具有涂覆尖端之气体场离子源
摘要
申请公布号 TWI474362 申请公布日期 2015.02.21
申请号 TW098105872 申请日期 2009.02.24
申请人 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 发明人 诺特四世 约翰A
分类号 H01J37/08;H01J27/26;H01J37/30 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人 李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼A区
主权项 一种作为一气场离子源之一尖端的制品,包含:一第一导电材料;以及一涂层,其中:该制品用作为一气场离子源之一尖端;以及该涂层在一区域内由该第一导电材料所支撑,在该区域内的电场强度强到足以导致全部的离子被离子化且朝远离该尖端的方向加速而未与该尖端的表面接触;该气场离子源用以接收来自一气体源的至少一气体,并且使该至少一气体产生离子;该气场离子源包含:该尖端的一尖锋,该尖端系由该第一导电材料制造且具有一表面;一撷取器及用以使该尖端相对该撷取器偏压的装置,在该尖端的该尖锋上产生向外的一电场;以及其中该涂层仅在来自该制品之一平均发射电流密度最多为来自该制品之一最大发射电流密度之50%之处,由该第一导电材料支撑。
地址 美国