一种浸没式紫外光学系统

摘要

本发明提出了一种浸没式紫外光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该浸没式紫外光学系统，沿其光轴方向包括第一单元、第二单元、第三单元、第四单元和第五单元。从光束入射方向依次排布第一单元组L1具有正折光力，第二单元组L2具有正折光力，第三单元组L3具有正折光力，第四单元组L4具有负折光力，第五单元组L5具有负折光力。本发明的浸没式紫外光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。

主权项

一种浸没式紫外光学系统，其特征在于：沿其光轴方向依次包括第一单元(L1)、第二单元(L2)、第三单元(L3)、第四单元(L4)和第五单元(L5)，其中第一单元(L1)、第二单元(L2)、第四单元(L4)和第五单元(L5)处于同一光轴； 第一单元(L1)为具有正折光力的单元组，包括第一正透镜(1)、第二正透镜(2)、第三正透镜(3)和第四正透镜(4)；光线投射到第一正透镜(1)后经第一正透镜(1)会聚，再经过第二正透镜(2)会聚后到达第三正透镜(3)，经第三正透镜(3)会聚后入射到第四正透镜(4)； 第二单元(L2)为具有正折光力的单元组，包括第五正透镜(5)、第一负透镜(6)、第六正透镜(7)、第七正透镜(8)和第八正透镜(9)；光线从第一单元(L1)的第四正透镜(4)会聚后经过第五正透镜(5)会聚进入第一负透镜(6)，经第一负透镜(6)发散后到达第六正透镜(7)，经第六正透镜(7)、第七正透镜(8)和第八正透镜(9)三次连续会聚后离开第二单元(L2)； 第三单元(L3)为具有正折光力的单元组，包括第一反射镜(10)、第二负透镜(11)、第九正透镜(12)、第十正透镜(13)、第二反射镜(14)、第三反射镜(18)；该单元中位于第一反射镜(10)和第二反射镜(14)之间的透镜因为光线反射使用了两次，光线经第一反射镜(10)反射后到达第二负透镜(11)，经第二负透镜(11)发散后进入第九正透镜(12)，经第九正透镜(12)、第十 正透镜(13)连续会聚后到达第二反射镜(14)，而后经第三反射镜(18)后离开第三单元(L3)； 第四单元(L4)为具有负折光力的单元组，包括第三负透镜(19)、第四负透镜(20)、第五负透镜(21)、第十一正透镜(22)、第十二正透镜(23)；光线进入第四单元(L4)经第三负透镜(19)、第四负透镜(20)、第五负透镜(21)的连续发散后进入第十一正透镜(22)，经第十一正透镜(22)会聚后到达第十二正透镜(23)，第十二正透镜(23)对光线进行会聚后到达光学系统的光阑； 第五单元(L5)为具有负折光力的单元组，包括第六负透镜(24)、第七负透镜(25)、第八负透镜(26)、第九负透镜(27)、第十负透镜(28)、第十一负透镜(29)、第十二负透镜(30)、第十三负透镜(31)、第十四负透镜(32)、像面(33)；光线进入第四单元(L4)经第六负透镜(24)、第七负透镜(25)、第八负透镜(26)、第九负透镜(27)、第十负透镜(28)、第十一负透镜(29)、第十二负透镜(30)、第十三负透镜(31)、第十四负透镜(32)的连续发散后到达像面(33)。