一种研磨装置

摘要

本实用新型提供一种研磨装置，至少包括：盘状内研磨盘；套设于所述内研磨盘外侧的环状外研磨盘；所述内研磨盘连接于控制所述内研磨盘升降的第一伸缩装置的下端；所述外研磨盘连接于控制所述外研磨盘升降的第二伸缩装置的下端；所述第一伸缩装置的上端连接于控制所述内研磨盘自转的第一电机，所述第二伸缩装置的上端连接于控制所述外研磨盘自转的第二电机。本实用新型的研磨装置将研磨盘分为内、外两部分，并以压缩空气分别控制内、外研磨盘的升降，利用内、外研磨盘与研磨垫的接触面积不同、研磨速率不同来调节研磨速率，使研磨速率保持稳定，进一步提高研磨的均匀性。同时，研磨盘在整个生命周期中都能被充分利用，大大节约了资源和成本。

主权项

一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置至少包括：盘状内研磨盘；套设于所述内研磨盘外侧的环状外研磨盘；所述内研磨盘连接于控制所述内研磨盘升降的第一伸缩装置的下端；所述外研磨盘连接于控制所述外研磨盘升降的第二伸缩装置的下端；所述第一伸缩装置的上端连接于控制所述内研磨盘自转的第一电机，所述第二伸缩装置的上端连接于控制所述外研磨盘自转的第二电机。