| 发明名称 | 化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法，其从经过了薄膜形成工序的、已用过的原料中提取未反应的有机钌化合物，所述方法包括以下工序(a)～(c)。(a)改质工序，其中，在氢气氛中，使所述已用过的原料与加氢催化剂接触，从而对已用过的原料中氧化了的有机钌化合物进行加氢。(b)吸附工序，其中，通过使所述已用过的原料与吸附剂接触，从而除去已用过的原料中的杂质。(c)复原工序，其中，在相对于有机钌化合物的分解温度为-100℃以上且-10℃以下的温度下，对所述已用过的原料加热8小时以上，从而调整已用过的原料中的有机钌化合物的异构体比率。 | ||
| 申请公布号 | CN104350061A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201380029958.7 | 申请日期 | 2013.06.06 |
| 申请人 | 田中贵金属工业株式会社 | 发明人 | 原田了辅;锅谷俊一;重富利幸;斋藤昌幸 |
| 分类号 | C07F15/00(2006.01)I;B01J23/44(2006.01)I;C07C7/12(2006.01)I;C07C7/163(2006.01)I;C07C13/263(2006.01)I;C07C13/42(2006.01)I;C07C45/79(2006.01)I;C07C45/85(2006.01)I;C07C49/92(2006.01)I | 主分类号 | C07F15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 丁业平;张苏娜 |
| 主权项 | 一种化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法，其从经过了薄膜形成工序的已用过的原料中提取未反应的有机钌化合物，所述方法包括以下工序(a)～(c)，其中，工序(a)～(c)的处理顺序是任意的，并且，工序(a)和工序(b)可以同时进行：(a)改质工序，其中，在氢气氛中，使所述已用过的原料与加氢催化剂接触，从而对已用过的原料中的已氧化了的有机钌化合物进行加氢，(b)吸附工序，其中，通过使所述已用过的原料与吸附剂接触，从而除去已用过的原料中的杂质，(c)复原工序，其中，在相对于有机钌化合物的分解温度为‑100℃以上且‑10℃以下的温度下，对所述已用过的原料加热8小时以上，从而调整已用过的原料中的有机钌化合物的异构体比率。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||