玻璃面板自动翘曲度测量方法

摘要

本发明公开了一种高精度测量的自动玻璃翘曲度测量方法，适应于电子行业玻璃制品的翘曲度高精度快速测量。本发明的测量方法通过对高精度水平玻璃进行测量，获取设备的测量基线，基线记过参与翘曲度的计算过程，大大的减少了仪器的结果误差，提高了测量的精度。同时使用九点翘曲测量技术，通过九点的测量结果，计算出样品的八个方向的翘曲值，大大提高了测量的精度与准确性。

主权项

一种玻璃面板自动翘曲度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将高精度水平玻璃(8)放置高精度激光测距仪(2)下方，移动水平横向导轨(4)和水平纵向导轨(5)，使得高精度激光测距仪(2)测量高精度水平玻璃(7)表面九个点，九点数据作为高精度测距仪基线分别对应点位保存;2）样品测量阶段：首先移除高精度水平玻璃(7)，然后放置用于支撑样品玻璃(8)的四个软性支架(6),四个软性支架分别位于样品玻璃（8）的四个角以支撑整个玻璃;移动水平横向导轨(4)和水平纵向导轨(5)，使得高精度激光测距仪(2)分别测量样品玻璃(8)表面九个点;3）测得样品中九个点位的距离激光测距仪的距离分别为d1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8、d9;沿点位1、2、3方向的翘曲度为：Wp1 = d2 – (d1 + d3) / 2；沿点位4、5、6方向的翘曲度为：Wp2 = d5 – (d4 + d6) / 2；沿点位7、8、9方向的翘曲度为：Wp3 = d8 – (d7 + d9) / 2；沿点位3、6、9方向的翘曲度为：Wp4 = d6 – (d9 + d3) / 2；沿点位1、4、7方向的翘曲度为：Wp5 = d4 – (d1 + d7) / 2；沿点位2、5、8方向的翘曲度为：Wp6 = d5 – (d2 + d8) / 2；沿点位1、5、9方向的翘曲度为：Wp7 = d5 – (d1 + d9) / 2；沿点位3、5、7方向的翘曲度为：Wp8 = d5 – (d3 + d7) / 2。