微机电装置;MEMS APPARATUS

摘要

一种微机电装置包括一基板、一第一质量块、一金属线圈、二第一悬臂、一第二质量块及多个第二悬臂。第一质量块位于基板内。金属线圈环绕于第一质量块之中。二第一悬臂用以连接基板与第一质量块，并支撑第一质量块。第二质量块位于第一质量块内。多个第二悬臂用以连接第一质量块与第二质量块，并支撑第一质量块与第二质量块。