一种扫描电镜样品台

摘要

本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，所述样品台上设于至少一对竖直凹槽和一对倾斜凹槽；所述竖直凹槽的槽壁上设有螺孔，螺孔内设有配合的顶丝；所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20~40度。本实用新型在样品台上设置竖直凹槽和倾斜凹槽，采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内，便于样品截面的垂直观察；采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察；从而实现了大角度的视野范围内的检测，方便观察更多的测试细节。

主权项

一种扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品台上设有至少一对竖直凹槽(1)和一对倾斜凹槽(2)；所述竖直凹槽的宽度为0.3~1.5 mm，深度为5~8 mm；其槽壁上设有螺孔(3)，螺孔内设有配合的顶丝；所述倾斜凹槽的宽度为0.3~1.5 mm，深度为5~8 mm；所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20~40度；所述倾斜凹槽的外侧壁比内侧壁低2~4 mm。