一种用于硅片传输系统的顶升换向机构

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片传输系统的顶升换向机构。为了提高顶升换向机构的硅片换向效率，所述顶升换向机构包括横向布置的横向传送机架和纵向布置的纵向传送机架；所述横向传送机架上装有多个横向传送皮带轮和包绕在多个横向传送皮带轮上的横向传送皮带，所述纵向传送机架装有多个纵向传送皮带轮和包绕在多个纵向传送皮带轮上的纵向传送皮带；所述纵向传送机架上部具有容纳横向传送机架穿过的空间，在横向传送机架下方至少设有两个纵向传送皮带轮，使所述横向传送机架在驱动装置的驱动下可在此空间内上下往复运动，且横向传送机架运动至上止点时横向传送皮带的顶面高于纵向传送皮带的顶面。本实用新型可以快速、精确地实现硅片的换向。

主权项

一种用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，包括横向布置的横向传送机架（7）和纵向布置的纵向传送机架；所述横向传送机架（7）上装有多个横向传送皮带轮（9）和包绕在多个横向传送皮带轮（9）上的横向传送皮带，所述纵向传送机架装有多个纵向传送皮带轮（8）和包绕在多个纵向传送皮带轮（8）上的纵向传送皮带；所述纵向传送机架上部具有容纳横向传送机架（7）穿过的空间，在横向传送机架（7）下方至少设有两个纵向传送皮带轮（8），使所述横向传送机架（7）在驱动装置的驱动下可在此空间内上下往复运动，且横向传送机架（7）运动至上止点时横向传送皮带的顶面高于纵向传送皮带的顶面。