一种基于特征谱线的电子束焦点检测装置及其工作方法

摘要

本发明涉及一种基于特征谱线的电子束焦点检测装置及其工作方法，本电子束焦点检测装置包括：电子束聚焦单元，适于调节在任一高度下发射的电子束的焦点位置；光谱采集及控制单元，适于根据所述采集工件在受电子束轰击后工件表面的辐射强度，以检测出最高辐射强度；且通过所述最高辐射强度调节电子束聚焦单元的聚焦电流，以确定在当前高度下的焦点位置；本发明所提出的基于特征元素谱线的电子束焦点检测装置及其工作方法，根据采集到的最高辐射强度确定聚焦电流，进而确定在当前高度下的焦点位置，实现了电子束焦点的迅速、准确、快速控制与定位。

主权项

一种基于特征谱线的电子束焦点检测装置，其特征在于，包括：电子束聚焦单元、光谱采集及控制单元；其中，所述电子束聚焦单元适于调节在任一高度下发射的电子束的焦点位置，所述高度即为电子束发射端与工件加工面的垂直距离；所述光谱采集及控制单元适于根据所采集工件在受电子束轰击后工件表面的辐射强度，以检测出最高辐射强度；且通过所述最高辐射强度调节电子束聚焦单元的聚焦电流，以确定在当前高度下的焦点位置。