储存柜充气系统的无线监控系统

摘要

本发明涉及一种储存柜充气系统的无线监控系统，包含：一柜体，其贮放有至少一个晶圆或光罩的载具；至少一个充气模组，其分层设于柜体内部且分别具有一供载具摆置的基体，并于基体上分别设有至少一个充气阀件及至少一个排气阀件；一供气模组，其通过一导气管路与充气阀件连接；一排放模组，其通过一导气管路与排气阀件连接；至少一个流量监控模组，其分别设于充气模组上；一无线接收模组，其设于柜体内部；一处理模组，其通过连接线与无线接收模组连接。本发明由于充气模组的流量模组以无线方式传递数据，而无需使用信号线，如此不仅可便于装配，且由于其为模组化设计，故检修时无需进行信号线的查修，有效降低维护与维修的成本。

主权项

一种储存柜充气系统的无线监控系统，其特征在于，包含有： 一柜体，其贮放有至少一个晶圆或光罩的载具；至少一个充气模组，其分层设于该柜体的内部，而该等充气模组分别具有一供该载具摆置的基体，且该等充气模组于基体上分别设有对应该载具进行充、排气的至少一个充气阀件及至少一个排气阀件；一供气模组，其通过一导气管路与该等充气模组的充气阀件连接；一排放模组，其通过一导气管路与该等充气模组的排气阀件连接；至少一个流量监控模组，其分别设于对应的该等充气模组上，且该等流量监控模组于对应的该等充气模组的充气阀件与该供气模组间的导气管路上分别设有一压力流量计，而该等流量监控模组的压力流量计分别连接一无线传输组；一无线接收模组，其设于该柜体的内部并接收该等流量监控模组的无线传输组的传输数据；一处理模组，其通过连接线与该无线接收模组连接，且该处理模组内设有一充气管理程序单元，而该处理模组具有一显示单元。