基于蝎子蛊毛流量感知机理的气体微流量检测装置

摘要

本发明公开了一种基于蝎子蛊毛流量感知机理的气体微流量检测装置，是由类蛊毛毛杆、类蛊毛基部、类蛊毛座、弹性连接膜、第一电极引线和第二电极引线构成，类蛊毛毛杆与类蛊毛基部装配成一体，形成类蛊毛结构；类蛊毛基部下半部分具有导电涂层，类蛊毛基部安装在类蛊毛座与弹性连接膜装配后的类球形腔内；第一电极引线嵌入弹性连接膜表面，当类蛊毛结构摆动时与类蛊毛基部的导电涂层接通；类蛊毛座的半球形凹槽正好能支撑类蛊毛基部在其内自由摆动，类蛊毛基部装配到类蛊毛座中两者形成等效角位移式变面积电容传感器；第二电极引线从类蛊毛座底部引出并与类蛊毛座的导电层连接。本发明仿照蝎子蛊毛的流量感知结构，形成一个等效角位移式变面积电容传感器，灵敏度高。

主权项

一种基于蝎子蛊毛流量感知机理的气体微流量检测装置，其特征在于：是由类蛊毛毛杆(1)、类蛊毛基部(2)、类蛊毛座(3)、弹性连接膜(4)、第一电极引线(5)和第二电极引线(6)构成，类蛊毛毛杆(1)与类蛊毛基部(2)装配成一体，形成类蛊毛结构；类蛊毛基部(2)下半部分具有导电涂层(9)，类蛊毛基部(2)安装在类蛊毛座(3)与弹性连接膜(4)装配后的类球形腔(7)内；弹性连接膜(4)上部具有开口(8)，弹性连接膜(4)的开口(8)大小限制类蛊毛毛杆(1)摆动角度的大小；第一电极引线(5)嵌入弹性连接膜(4)表面，当类蛊毛结构摆动时与类蛊毛基部(2)的导电涂层(9)接通；类蛊毛座(3)为圆柱形绝缘体，类蛊毛座(3)的半球形凹槽(10)正好能支撑类蛊毛基部(2)在其内自由摆动，半球形凹槽(10)内表面具有导电层，导电层之上覆盖有一层绝缘层，类蛊毛基部(2)装配到类蛊毛座(3)中两者形成等效角位移式变面积电容传感器；第二电极引线(6)从类蛊毛座(3)底部引出，第二电极引线(6)与类蛊毛座(3)的导电层连接。