懸架されたボロメータマイクロプレートで構成された赤外線検出器

摘要

所定の赤外線又はテラヘルツ波長範囲内の電磁放射を検出するためのアレイボロメータ検出器は、基板（１６）と、その放射を検出するために、支持素子（１８）によって基板の上に懸架されたボロメータマイクロプレート（１４）のアレイとを含む。その検出器は、各マイクロプレート（１４）の上に配置された膜（２２）を含み、膜（２２）は、膜の屈折率よりも小さな屈折率を有するパターン（２６）を有する。パターン（２６）は、λ／ｎ以下の周期で、膜（２２）の少なくとも一つの軸に沿って周期的に配置され、ここで、λは、検出される波長であり、ｎは、マイクロプレート（１４）を膜（２２）から離隔する媒体の平均屈折率である。その軸に沿ったパターン（２６）の幅は、膜（２２）の中心位置からその周辺に向けて増大していく。