| 发明名称 | 一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置 | ||
| 摘要 | 一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，属于镀膜技术领域，该装置包括真空室上壁板和真空室下壁板，其特征在于：上电极板与真空室上壁板固定连接；至少两列热丝竖直分布，每列热丝上端与其对应的上电极板固定连接，每列热丝下端与其对应的下电极板固定连接；下电极板下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板之上。该装置采用多阵列热丝竖直分布，可以双面大面积镀膜，减少热丝的成本，多列热丝的分布方式可以实现大面积镀膜试样的完整有效镀膜，且提高镀膜的效率，竖直分布的热丝结构保证了在不破坏热丝的情况下取出试样，进一步降低了热丝的成本，热丝下端的热丝调力机构可以张紧热丝并限制热丝摆动，实现均匀镀膜。 | ||
| 申请公布号 | CN203999806U | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201420288856.9 | 申请日期 | 2014.05.30 |
| 申请人 | 大连理工常州研究院有限公司 | 发明人 | 吴爱民;林国强;李强;邹瑞洵;其他发明人请求不公开姓名 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，包括真空室上壁板(11)和真空室下壁板(12)，其特征在于：上电极板(2)与真空室上壁板(11)固定连接；至少两列热丝(7)竖直分布，每列热丝上端与其对应的上电极板(2)固定连接，每列热丝下端与其对应的下电极板(3)固定连接；下电极板(3)下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板(11)之上。 | ||
| 地址 | 213164 江苏省常州市武进区常武中路801号常州科教城 | ||