微细电解加工碳纳米管工具电极制备方法及多功能工作槽

摘要

本发明涉及适用于电解加工的碳纳米管工具电极的制备，属于电化学加工领域。该方法包括以下步骤：1.将原始工具电极钨棒（13）夹持于具有纳米分辨率的精密移动轴Z轴（5）上；2.将多功能工作槽（8）置于XY精密位移台（9）（10）上；3.在多功能工作槽（8）A中，运用电化学腐蚀的方法在线制备钨电极；4.在多功能工作槽（8）B中，在显微镜（14）视场下，用电压法将碳纳米管焊接于钨电极上；5.在多功能工作槽（8）C中，采用薄膜微细电铸的方法将钨电极与碳纳米管连接的部位电铸一层金属镍。本发明的方法增加了钨电极与碳纳米管的粘结强度，及整个碳纳米管工具电极的电导率，为其在电解液环境中进行纳米电解加工提供保证。

主权项

一种微细电解加工碳纳米管工具电极制备方法，其特征在于包括以下过程：步骤1、在工具电极制备池(A)中，运用电化学刻蚀方法对原始工具电极钨棒（13）进行加工，制备多节针尖状钨电极； 步骤2、在碳纳米管焊接池(B)内，在显微镜（14）视场下，用电压法将碳纳米管焊接于钨电极针尖上；步骤3、在薄膜微细电铸池(C)中，采用薄膜微细电铸的方法将钨电极与碳纳米管连接的部位电铸一层金属镍； 上述工具电极的移动通过精密移动轴Z轴（5）带动；上述工具电极制备池(A)、碳纳米管焊接池(B) 、薄膜微细电铸池(C)的移动通过XY精密位移台（9、10）实现。