发明名称 |
超净高纯氢氟酸的过滤装置 |
摘要 |
本实用新型提供了超净高纯氢氟酸的过滤装置,包括过滤器本体,其特征在于:所述的过滤器本体底部设有纯水进口和排污出口,所述的排污出口旁为氮气入口,所述的物料进口位于排污出口上方,所述的过滤器本体上方设有尾气出口,物料出口设在过滤器本体的最上方,所述的压力表与物料进口相连,过滤器本体的设有液位管,过滤器本体内部设有可更换的滤芯。本实用新型提供了一种可安全更换滤芯的超净高纯氢氟酸的过滤装置,结构简单,维护方便,减少安全事故的发生,同时提高了超净高纯氢氟酸的品质。 |
申请公布号 |
CN203976397U |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201420369068.2 |
申请日期 |
2014.07.07 |
申请人 |
昆山晶科微电子材料有限公司 |
发明人 |
吴建良;胡美艳 |
分类号 |
C01B7/19(2006.01)I |
主分类号 |
C01B7/19(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
超净高纯氢氟酸的过滤装置,包括过滤器本体,其特征在于:所述的过滤器本体底部设有纯水进口和排污出口,所述的排污出口旁为氮气入口,所述的物料进口位于排污出口上方,所述的过滤器本体上方设有尾气出口,物料出口设在过滤器本体的最上方,所述的压力表与物料进口相连,过滤器本体的设有液位管,过滤器本体内部设有可更换的滤芯。 |
地址 |
215341 江苏省苏州市昆山市千灯镇致威路17号 |