HEATING ELECTRODE AND METHOD FOR HEATING MATERIAL-TO-BE-HEATED BY USING THE HEATING ELECTRODE

摘要

[해결수단] 도전성 핀으로 이루어지는 복수개의 핀 전극(10)의 집합체를 핀 지지대(20)의 관통 구멍(21)에 슬라이딩 가능하게 배치하고, 핀 지지대(20)에 압력이 가변하는 압력 가변 가스 챔버(30)를 결합하고, 상기 가스 챔버(30)를 가압 또는 감압함으로써 핀 전극(10)을 핀 지지대(20)에 대하여 상대 변위시킨다.