| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem Sensorchip (10), auf und/oder in welchem mindestens ein Sensorelement (12) angeordnet ist, und einer aus einem Spritzgussmaterial geformten Umhüllung (14), welche den Sensorchip (10) zumindest teilweise derart umhüllt, dass mindestens ein Teilbereich mindestens einer Oberfläche des Sensorchips (10) mittels des Spritzgussmaterials luftdicht abgedeckt ist, wobei mindestens ein Kanal (24) in dem Spritzgussmaterial geformt ist, welcher von einer äußeren Umgebung (26) der Umhüllung (14) gerade oder ungerade derart lang auf das mindestens eine Sensorelement (12) zu verläuft, dass in Abhängigkeit von mindestens einer physikalischen Eigenschaft und/oder zumindest einer chemischen Teilzusammensetzung eines in dem mindestens einen Kanal (24) vorliegenden Mediums eine Formänderung und/oder eine chemische Konsistenzänderung von zumindest einem Teil des mindestens einen Sensorelements (12) bewirkbar ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Montieren eines mikromechanischen Bauteils in einem Fahrzeug. |
