| 摘要 |
【课题】本发明提供一种处理量不致降低,而可以更少洗净液洗净保持于基板保持器之基板的基板镀覆装置。【解决手段】基板镀覆装置具备:保持基板之基板保持器18;使基板浸渍于镀覆液中,对基板表面进行镀覆之镀覆槽34;以洗净液洗净基板保持器18及保持于该基板保持器18之基板的洗净槽30;及配置于洗净槽30中,收纳保持基板之基板保持器18的内壳100。内壳100开关自如地构成。内壳100具有形成有凹凸部的内面,该凹凸部沿着保持基板之基板保持器18之外形的凹凸形状,供给洗净液至关闭状态之内壳100中,将内壳100中之基板与基板保持器18一起洗净。 |
