激光剥离装置

摘要

能够不在形成在基板上的材料层中产生破裂地以短时间进行激光剥离处理。为了在基板（1）与上述材料层（2）之间的界面处使上述材料层从上述基板剥离，对在基板（1）上形成了材料层（2）而得到的工件（3），从基板（1）侧经由掩模（44）照射激光。激光被掩模（44）分割为多个小面积的激光，在工件上形成相互分离的多个照射区域。此外，相邻的照射区域相互分离，并被配置为，各照射区域的端部、和邻接的照射区域的在与工件的相对移动方向平行的方向上延伸的端部随着工件移动而依次重叠，上述各照射区域的端部与邻接的照射区域的端部相互重叠。由此，能够不在形成在基板上的材料层中产生破裂地使材料层可靠地从基板剥离。

主权项

一种激光剥离装置，具备激光源和搬送机构，该激光源对在基板上形成材料层而得到的工件，透过上述基板而照射激光，该搬送机构使上述工件和上述激光源相对地移动，该激光剥离装置的特征在于，具有激光形成单元，该激光形成单元将从上述激光源出射的激光分割为多个激光，利用分割后得到的各激光，在上述工件上形成相互分离的多个照射区域，利用上述激光形成单元形成的多个照射区域的形状接近正方形，且面积为0.25mm²以下，邻接的照射区域的沿与上述工件的移动方向平行的方向延伸的端部随着上述工件相对于上述激光源在一个方向上相对移动而依次重叠，并且工件的搬送速度和脉冲激光的光照射间隔被设定为，各照射区域的沿与工件的搬送方向正交的方向延伸的端部彼此相互重叠，上述激光被照射到工件的整个面。