一种真空计的保护装置

摘要

本实用新型公开了一种真空计的保护装置，涉及半导体制造领域。真空计的保护装置，所述真空计通过管道与一离子源腔体连接，一充气管道连接所述离子源腔体，所述充气管道上设置一充气阀，该保护装置包括：气动阀，所述气动阀设置于所述真空计与所述离子源腔体之间的管道上，所述气动阀与所述充气阀为互锁连接。本实用新型通过在真空计与离子源腔体之间增加一个气动阀，且此气动阀和离子源腔体的充气阀为互锁连接，当充气阀打开时气动阀关闭，使离子源腔体在回归大气时散发出来的附着物物被增加的互锁气动阀挡住，从而保护到了真空计免受腐蚀损害，延长了真空计的使用寿命。

主权项

一种真空计的保护装置，所述真空计通过管道与一离子源腔体连接，一充气管道连接所述离子源腔体，所述充气管道上设置一充气阀，其特征在于，包括：气动阀，所述气动阀设置于所述真空计与所述离子源腔体之间的管道上，所述气动阀与所述充气阀为互锁连接。