具三向运动的点测装置

摘要

本发明是一种具三向运动的点测装置，包括一底座、一支架、一纵向运动部、一横向运动部、一旋转运动部、一承载盘、一上下运动部及一点测针，其中支架及纵向运动部分别设在底座的顶面，且纵向运动部能沿底座的纵向位移，横向运动部设在纵向运动部的顶面，且能沿底座的横向位移，旋转运动部枢设在横向运动部的顶面，且能以自身轴为中心，进行轴向旋转，承载盘设在旋转运动部的顶面，上下运动部设在支架上，且其底面能朝承载盘的顶面进行上下往复位移，点测针设在上下运动部的底面，且能在上下运动部向下位移时，触碰承载盘上的至少一待测元件，如此，由于上下运动部仅需带动点测针，故能大幅降低上下运动部的负重，提高点测装置的点测速度。

主权项

一种具三向运动的点测装置，其特征在于，所述点测装置包括：一底座；一支架，其设在所述底座的顶面，且朝所述顶面上方延伸；一纵向运动部，其设在所述底座的顶面，且能沿所述底座的纵向位移；一横向运动部，其设在所述纵向运动部的顶面，且能沿所述底座的横向位移；一旋转运动部，其枢设在所述横向运动部的顶面，且能以自身轴为中心，进行轴向旋转；一承载盘，其设在所述旋转运动部的顶面，其上能供置放至少一个待测元件；一上下运动部，其设在所述支架上，且其底面能朝所述承载盘的顶面进行上下往复位移；及一点测针，其一端设在所述上下运动部的底面，其另一端则能在所述上下运动部向下位移的状态下，触碰到所述承载盘上的各所述待测元件。