| 发明名称 |
嵌段共聚物组成物及其相关方法;BLOCK COPOLYMER COMPOSITION AND METHODS RELATING THERETO |
| 摘要 |
提供一种共聚物组成物包括具有聚(丙烯酸酯)嵌段及聚(丙烯酸矽烷基酯)嵌段的嵌段共聚物；其中该嵌段共聚物具有1至1,000千克/莫耳之数目平均分子量MN；及其中该嵌段共聚物具有1至2的多分散性PD。也提供使用该共聚物组成物处理的基板。 |
| 申请公布号 |
TW201434937 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
| 申请号 |
TW103102900 |
申请日期 |
2014.01.27 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 |
发明人 |
崔夫纳斯 彼得;赫斯塔德 菲利普;顾歆宇;佛格 艾瑞;吉伯格 菲勒瑞;张诗玮;摩瑞 丹尼尔 |
| 分类号 |
C08L53/00(2006.01);C08K5/00(2006.01);C08K5/13(2006.01);C08K5/134(2006.01);C08K5/375(2006.01);C08K5/524(2006.01);C08K5/527(2006.01);C08K5/5393(2006.01) |
主分类号 |
C08L53/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC 美国 |
