化学机械研磨设备之调节器

摘要

本发明提供：一种化学机械研磨设备之调节器，该化学机械研磨设备用于在旋转之一压板垫上研磨一基板；及其方法。该调节器包括一圆盘固持器、一活塞杆、一外壳，及一负载感测器。该圆盘固持器紧固精细地切割该压板垫之一表面的一调节圆盘。该活塞杆将一法线力递送至该圆盘固持器。该外壳覆盖该活塞杆之至少一部分。该负载感测器经安装以接收该活塞杆递送至该活塞杆之该法线力且量测该法线力。

主权项

一种化学机械研磨设备之调节器，该化学机械研磨设备用于在旋转之一压板垫上研磨一基板，该调节器包含：一圆盘固持器，其紧固精细地切割该压板垫之一表面的一调节圆盘；一活塞杆，其将一法线力递送至该圆盘固持器；一外壳，其覆盖该活塞杆之至少一部分；一负载感测器，其经安装以接收该活塞杆递送至该活塞杆之该法线力且量测该法线力；一轴件，其系与该活塞杆向上隔开；及一汽缸，其环绕该轴件及该活塞杆，使得一气动压力腔室形成于该轴件与该活塞杆之间，该汽缸与该轴件及该活塞杆一起旋转，且在其一外部圆周表面处具有一台阶，该台阶在一上部方向上将一力递送至该负载感测器，其中该负载感测器经安装以藉由该外壳支撑，且经由该汽缸之该台阶递送至该汽缸的该法线力之一反作用力递送至该负载感测器。