| 发明名称 | 后段电可编程熔断器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种BEOL电子熔断器，该BEOL电子熔断器在通孔内会可靠地烧断，并且即使在最紧密间距的BEOL层内也能够形成。该BEOL电子熔断器能够使用线路优先的双镶嵌工艺来形成，以产生将作为电子熔断器的可编程链路的亚光刻通孔。亚光刻通孔能够使用标准的光刻技术来图形化，并且通孔的截面能够进行调整以匹配目标编程电流。 | ||
| 申请公布号 | CN104040711A | 申请公布日期 | 2014.09.10 |
| 申请号 | CN201380005216.0 | 申请日期 | 2013.01.10 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 鲍军静;G·波尼拉;考施克·查恩达;塞缪尔·S.·乔伊;罗纳德.G.非利普;斯特凡·格鲁诺夫;N·E·勒斯蒂格;丹·默伊;安德鲁.H.西蒙 |
| 分类号 | H01L21/82(2006.01)I;H01L23/62(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/82(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 申发振 |
| 主权项 | 一种BEOL电子熔断器，包含：耦接于作为阴极而连接的第一BEOL导电特征件与作为阳极而连接的第二BEOL特征件之间的导电通孔，其中所述导电通孔具有亚光刻尺寸。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||