六氯化二矽气体之除害方法及其装置

摘要

[课题]开发一种：不会产生爆炸性矽草酸、或有毒、腐蚀性的氯气之HCD的加热分解方法。;[解决手段]将含有六氯化二矽的排放气体(L)，使其不含水分，而导入反应处理区域(K)内、同时将含有水分的含氧气之气体(G)供给于该反应处理区域(K)，在反应处理区域(K)内至少氧化分解排放气体(L)中的六氯化二矽作为其特征；于被保持在排放气体(L)中的HCD分解温度之反应处理区域(K)供给含有若干之水分的含氧气之气体(G)与含有HCD的排放气体(L)，而能不产生矽草酸和氯地，分解为盐酸与二氧化矽及水，而安全地进行含有HCD的排放气体处理之物。

主权项

一种除害方法，其特征为：将含有六氯化二矽的排放气体不含水分地而导入至500℃以上之温度的反应处理区域，并且将包含有水分的含氧气之气体供给于该反应处理区域，于前述反应处理区域内至少氧化分解排放气体中的六氯化二矽，前述包含有水分的含氧气之气体，系在藉由从被作了氧化分解之前述排放气体而来之热而被作了加热后，被供给至前述反应处理区域中。