硏磨用组成物

摘要

本发明提供一种保存安定性良好，可高速研磨缺乏化学反应性之研磨对象物之研磨用组成物。本发明系一种研磨用组成物，其系含有于表面固定有有机酸之二氧化矽、分子量未达2万之2元醇与pH调整剂，且pH为6以下。