微小孔的等离子体放电加工装置及加工方法

摘要

本发明涉及一种微小孔的等离子体放电加工装置及加工方法，属于机械制造技术领域。本发明为解决现有微小孔加工方法难以完全避免表层/亚表层损伤，以及现有等离子体无损加工装置不适用于微小孔的超精密高效加工等问题。通过导向器将小直径线状电极固定于待加工孔中心，在电极与孔壁间的间隙内形成等离子体放电空间，射频电源通过阻抗匹配器与电极连接，工作气体通过对应的质量流量控制器控制流量后通入气室，接地夹套设置于工作台内并接地。方法：工件安放并接地，定位电极；通入气体，并调节流量；输入并调节功率；控制运动轨迹和驻留时间；关闭电源和气体；取出工件。本发明适用于微小孔的等离子体放电加工。

主权项

一种用于微小孔加工的等离子体放电加工装置，其特征在于：所述加工装置包括氦气瓶(1)、四氟化碳气瓶(2)、氧气瓶(3)、氦气质量流量控制器(4)、四氟化碳质量流量控制器(5)、氧气质量流量控制器(6)、混气阀(7)、射频电源(8)、阻抗匹配器(9)、电极(10)、上导向器(11)、气室(12)、工作台(14)、运动控制系统(15)、下导向器(16)、底座(17)、接地线(18)、接地夹套(22)，射频电源(8)通过阻抗匹配器(9)与电极(10)连接，接地线(18)与接地夹套(22)连接，射频电源(8)、阻抗匹配器(9)、电极(10)与工件(13)、接地线(18)、接地夹套(22)构成等离子体同轴放电结构，电极(10)上端插入上导向器(11)的通孔、下端插入下导向套(16)的通孔以固定，上导向器(11)、下导向器(16)分别安装于气室(12)、底座(17)内，上、下导向器同轴安装以实现电极(10)的定位，电极(10)通过工件(13)中的小孔，与工件小孔内壁形成等离子体放电腔室(19)，工件(13)放置于接地夹套(22)内并与其良好连接，接地夹套(22)放置并固定于工作台(14)上，氦气瓶(1)、四氟化碳气瓶(2)、氧气瓶(3)分别通过氦气质量流量控制器(4)、四氟化碳质量流量控制器(5)、氧气质量流量控制器(6)与混气阀(7)连接，混气阀(7)出口与气室(12)进气口连接，氦气质量流量控制器(4)用于控制氦气流量、四氟化碳质量流量控制器(5)用于控制四氟化碳流量、氧气质量流量控制器(6)用于控制氧气流量，工作台(14)与运动控制系统(15)连接。