摘要 |
Verfahren zur Herstellung eines Mikrofluidsystems, bei dem auf einem Substrat mindestens an einer Position eines tubulären Verbindungselementes mindestens eine Polymerschicht aufgebracht und nachfolgend ein tubuläres Verbindungselement mit kreisförmigem, quadratischem, rechteckigem, Brei- oder mehreckigem Querschnitt in die Position auf der Polymerschicht gebracht wird, wobei das tubuläre Verbindungselement Strukturelemente des Mikrofluidsystems zum Austausch von Gas oder Flüssigkeiten miteinander verbindet, danach mindestens eine weitere Polymerschicht mindestens teilweise über das tubuläre Verbindungselement mit einer Dicke aufgebracht wird, die größer ist als die Höhe des tubulären Verbindungselementes, und danach eine Strukturierung und Aushärtung der mindestens einen weiteren Polymerschicht realisiert wird, wobei durch die Strukturierung und Aushärtung der mindestens einen weiteren Polymerschicht eine gas- und/oder flüssigkeitsdichte Verbindung des Verbindungselementes mit dem Substrat und/oder den Strukturelementen realisiert wird. |