| 发明名称 |
用于监控晶体生长状态的方法及探测系统与可以监控晶体生长状态的设备 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI438313 |
申请公布日期 |
2014.05.21 |
| 申请号 |
TW100146828 |
申请日期 |
2011.12.16 |
| 申请人 |
志圣工业股份有限公司 新北市林口区工二工业区工八路2之1号 |
发明人 |
谢佳颖;张祁豪;扈醒华 |
| 分类号 |
C30B35/00 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新北市林口区工二工业区工八路2之1号 |
