用于感测元件的自我测试系统及其方法

摘要

本发明是有关于一种用于感测元件的自我测试系统及其方法。自我测试系统包含感测元件及测试模块。感测元件包含固定单元及可动单元，其中固定单元与可动单元之间形成感应电容。测试模块用以电性连接感测元件，且测试模块包含测试电路，用以量测感应电容。其中，感测元件用以接收输入信号，使感应电容产生电容值变化量，而测试电路则根据电容值变化量，输出测试信号。

主权项

一种用于感测元件的自我测试系统，其特征在于其包含:感测元件，包含固定单元及可动单元，其中该固定单元与该可动单元之间形成感应电容；及测试模块，用以电性连接该感测元件，其中该测试模块包含测试电路，用以量测该感应电容；其中该感测元件，用以接收输入信号，使该感应电容产生电容值变化量，而该测试电路根据该电容值变化量，输出测试信号。