用于使用了电子束的显微镜或者分析装置的试样加热架、以及使用了该试样加热架的试样加热方法

摘要

本发明提供一种用于使用了电子束的显微镜或者分析装置的试样加热架、以及使用了该试样加热架的试样加热方法，所述试样加热架不需要进行超高真空化，能在不导致试样表面的破坏的情况下稳定地防止试样表面的污染。该用于使用了电子束的显微镜或者分析装置的试样加热架，对于观察和分析期间的碳污染的生长和热漂移的抑制能力优异，其特征在于，具备正温度系数（PTC）热敏电阻作为发热体。

主权项

用于使用了电子束的显微镜或者分析装置的试样加热架，其对于观察和分析期间的碳污染的生长和热漂移的抑制能力优异，其特征在于，具备正温度系数热敏电阻作为发热体，所述正温度系数热敏电阻又称为PTC热敏电阻。