发明名称 |
多孔硅为模板制备柔性减反射层的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种多孔硅为模板制备柔性减反射层的方法;步骤一,将PET剪成小片,放入烧杯,无水乙醇超声清洗,去离子水超声清洗,将PET取出,用普通氮气吹干;步骤二,在PET表面刷涂一层表面活性剂溶液,待溶剂充分挥发后,将PET放在匀胶机的转台上,取光刻胶滴在PET表面,甩胶并烘干;步骤三,将多孔硅模板蒸镀脱模剂;步骤四,将真空压印设备放入紫外固化箱内,将多孔硅模板和PET进行压印;步骤五,紫外照射,待光刻胶完全固化,样品冷却到室温;步骤六,将PET四个角轻轻剥离多孔硅模板,使多孔硅模板和PET基底分离,即可得。本发明反射层具有良好的减反射效果,可降低PET反射率约80%~95%。 |
申请公布号 |
CN103762272A |
申请公布日期 |
2014.04.30 |
申请号 |
CN201410011016.2 |
申请日期 |
2014.01.09 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
黄其煜;郑一胄 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海汉声知识产权代理有限公司 31236 |
代理人 |
牛山;陈少凌 |
主权项 |
一种多孔硅为模板制备柔性减反射层的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:步骤一,将PET剪成小片,放入烧杯,加入适量的无水乙醇超声清洗,将无水乙醇倒出,加入适量去离子水超声清洗,再将PET取出,用普通氮气吹干;步骤二,在PET表面刷涂一层表面活性剂溶液,待溶剂充分挥发后,将PET放在匀胶机的转台上,取光刻胶滴在PET表面,甩胶并烘干;步骤三,将多孔硅模板蒸镀脱模剂;步骤四,将真空压印设备放入紫外固化箱内,将多孔硅模板和PET放在真空压印设备进行压印;步骤五,紫外照射,待光刻胶完全固化,样品冷却到室温;步骤六,将PET四个角轻轻剥离多孔硅模板,使多孔硅模板和PET基底分离,即可得多孔硅为模板制备的柔性减反射层。 |
地址 |
200240 上海市闵行区东川路800号 |