发明名称 RESIST COMPOSITION
摘要 A resist composition according to the present invention comprises a resist base material and a solvent, wherein the resist base material contains a specific stereoisomer and the specific stereoisomer makes up 50 to 100 mass% of the resist base material.
申请公布号 WO2014061710(A1) 申请公布日期 2014.04.24
申请号 WO2013JP78104 申请日期 2013.10.16
申请人 MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 发明人 TAKASUKA, MASAAKI;ECHIGO, MASATOSHI;OKADA, YU;OCHIAI, YUMI
分类号 G03F7/038;C07C39/17;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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