一种连接Si₃N₄陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法

摘要

本发明公开了一种连接Si₃N₄陶瓷与不锈钢的中间层组件及连接方法，其中间层组件依顺序由Ti箔、Ag-Cu钎料箔、Ni箔和Ag-Cu钎料箔紧贴组成。本发明的连接方法是先将待连接的Si₃N₄陶瓷试样和中间层组件磨平、磨光和清洗；然后按Si₃N₄陶瓷、Ti、Ag-Cu、Ni、Ag-Cu、不锈钢的顺序紧接安装并置于真空炉中进行钎焊。本发明能缓解陶瓷与不锈钢接头残余应力，提高接头强度，工艺简单，实施方便。

主权项

一种连接Si₃N₄陶瓷与不锈钢的中间层组件的方法，所述中间层组件依顺序由Ti箔、Ag‑Cu钎料箔、Ni箔和Ag‑Cu钎料箔紧贴组成；其特征在于，所述方法包括如下步骤：（1）准备阶段：先将待连接的Si₃N₄陶瓷试样端面用金刚石研磨膏磨平，再将Ti箔、Ag‑Cu钎料箔、Ni箔和不锈钢用5号金相砂纸磨光，然后一起置于丙酮中进行超声波清洗10分钟；（2）装配步骤：将经磨光的Ti箔、Ag‑Cu钎料箔、Ni箔、不锈钢和经磨平的Si₃N₄陶瓷按Si₃N₄陶瓷、Ti、Ag‑Cu、Ni、Ag‑Cu、不锈钢的顺序紧贴安装在专用夹具中；同时在待连接件上放置一小砝码以产生0.020～0.029MPa的压力；（3）连接阶段：将装配好的专用夹具置于真空炉中进行钎焊，真空炉先以10～15K/min的速率升温至923K，保温30min；再以10～15K/min的速率升温至1113～1153K，保温10～30min；然后以6～10K/min的速率冷至873K；真空度小于10^‑3Pa；自然冷却至室温时开炉门取样。