发明名称 |
多量程叉指电容式湿度传感器 |
摘要 |
本发明涉及一种多量程叉指电容式湿度传感器,其特征是:包括多个连接在一起的传感器单元,所述传感器单元包括一对叉指状的上电极和下电极,下电极和上电极穿过SiO2氧化层设置在硅基底的同一表面上,上电极的叉指和下电极的叉指呈叉指状交错排列,在上电极和下电极的叉指之间填充湿度敏感介质;在所述上电极和下电极的上方设置铝条,铝条位于上电极和下电极的叉指之间,在铝条和上电极之间填充湿度敏感介质;在所述上电极和下电极正下方的硅基底上形成空腔,使下电极、上电极以及下电极和上电极叉指间的湿度敏感介质直接与空气接触;所述传感器单元由铝条串联在一起。本发明提高了电容式压力传感器的灵敏度和测量范围。 |
申请公布号 |
CN103675041A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310633521.6 |
申请日期 |
2013.11.30 |
申请人 |
江苏物联网研究发展中心 |
发明人 |
薛惠琼;王玮冰;田龙坤 |
分类号 |
G01N27/22(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/22(2006.01)I |
代理机构 |
无锡市大为专利商标事务所 32104 |
代理人 |
曹祖良;刘海 |
主权项 |
一种多量程叉指电容式湿度传感器,其特征是:包括多个连接在一起的传感器单元(12),所述传感器单元(12)包括一对叉指状的上电极(2)和下电极(1),下电极(1)和上电极(2)穿过SiO2氧化层(10)设置在硅基底(8)的同一表面上,上电极(2)的叉指和下电极(1)的叉指呈叉指状交错排列,在上电极(2)和下电极(1)的叉指之间填充湿度敏感介质(7);在所述上电极(2)和下电极(1)的上方设置铝条(3),铝条(3)位于上电极(2)和下电极(1)的叉指之间,在铝条(3)和上电极(2)之间填充湿度敏感介质(7);在所述上电极(2)和下电极(1)正下方的硅基底(8)上形成空腔(9),使下电极(1)、上电极(2)以及下电极(1)和上电极(2)叉指间的湿度敏感介质(7)直接与空气接触;所述传感器单元(12)由铝条(3)串联在一起。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 |