| 摘要 |
1. Масс-спектрометрический анализатор газового течеискателя, содержащий вакуумную камеру с присоединительными фланцами, внутри которой размещены: источник ионов пробного газового вещества, состоящий из источника электронов и камеры ионизации; магнитная система, обеспечивающая разделение ионов по массам; приемник ионов, отличающийся тем, что в качестве источника электронов использован плазменный катод, выполненный на основе плазмы тлеющего разряда.2. Масс-спектрометрический анализатор п.1, отличающийся тем, что в качестве плазменного катода использована помещенная в аксиальное магнитное поле ячейка Пеннинга с эмиттером электронов, выполненным в виде щели для формирования ленточного электронного пучка в антикатоде ячейки, со стороны камеры ионизации.3. Масс-спектрометрический анализатор по п.2, отличающийся тем, что в центральной части анода ячейки Пеннинга выполнены отверстия для "подкачки" остаточного газа из вакуумной камеры.4. Масс-спектрометрический анализатор по пп.2 и 3, отличающийся тем, что дополнительно содержит установленный напротив выходного окна камеры ионизации отражающий электрод, находящийся под потенциалом плазменного катода (виртуальный катод), обеспечивающий отражение (осцилляции) поставляемых от плазменного катода электронов.5. Масс-спектрометрический анализатор по п.4отличающийся тем, что в качестве отражающего электрода использована металлическая пластина, или второй плазменный катод, или нить накаливаемого термокатода, установленные симметрично плазменному катоду с противоположной стороны камеры ионизации и создающие отражающее электроны.6. Масс-спектрометрический анализа� |
