| 摘要 |
本发明揭露一种用以制造具有可辨识标记之基板之方法，包含：提供一基板；于所述基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，所述光罩上四角落各包含预先形成之至少一光罩辨识标记，其中所述光罩之周边范围系大于所述基板之周边范围，且所述些光罩辨识标记包含至少二类型之光罩辨识标记；及利用所述光罩于所述至少二基板区域上分别执行曝光，以于所述至少二基板区域上形成对应至所述些光罩辨识标记之至少八基板辨识标记，并使所述至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在所述至少二基板区域上分别形成有对应至所述至少二类型之光罩辨识标记之所述些基板辨识标记。 |
