发明名称 |
InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法,所述InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底的中间部位,其形状为铲子形,一端为铲子的头部,另一端为柄部;铲形头部的前半部分为矩形结构,后半部分的宽度逐渐减小并对接到柄部;一芯层,其制作在下包层的上面,其形状与下包层一致;一上包层,其制作在芯层柄部的上面及铲子头部的后半部分,且其形状为条状结构。本发明可以解决边入射器件中与光纤耦合效率较低的问题。 |
申请公布号 |
CN103487883A |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
申请号 |
CN201310424535.7 |
申请日期 |
2013.09.17 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
吕倩倩;韩勤;崔荣;李彬;尹伟红;杨晓红 |
分类号 |
G02B6/136(2006.01)I;G02B6/42(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/136(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底的中间部位,其形状为铲子形,一端为铲子的头部,另一端为柄部;铲形头部的前半部分为矩形结构,后半部分的宽度逐渐减小并对接到柄部;一芯层,其制作在下包层的上面,其形状与下包层一致;一上包层,其制作在芯层柄部的上面及铲子头部的后半部分,且其形状为条状结构。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |