发明名称 InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法
摘要 本发明提供一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法,所述InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底的中间部位,其形状为铲子形,一端为铲子的头部,另一端为柄部;铲形头部的前半部分为矩形结构,后半部分的宽度逐渐减小并对接到柄部;一芯层,其制作在下包层的上面,其形状与下包层一致;一上包层,其制作在芯层柄部的上面及铲子头部的后半部分,且其形状为条状结构。本发明可以解决边入射器件中与光纤耦合效率较低的问题。
申请公布号 CN103487883A 申请公布日期 2014.01.01
申请号 CN201310424535.7 申请日期 2013.09.17
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 吕倩倩;韩勤;崔荣;李彬;尹伟红;杨晓红
分类号 G02B6/136(2006.01)I;G02B6/42(2006.01)I 主分类号 G02B6/136(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器,包括:一衬底;一下包层,其制作在衬底的中间部位,其形状为铲子形,一端为铲子的头部,另一端为柄部;铲形头部的前半部分为矩形结构,后半部分的宽度逐渐减小并对接到柄部;一芯层,其制作在下包层的上面,其形状与下包层一致;一上包层,其制作在芯层柄部的上面及铲子头部的后半部分,且其形状为条状结构。
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