彩色滤光单元宽度的测量方法以及液晶面板的制作方法

摘要

本发明公开了一种彩色滤光单元宽度的测量方法，包括步骤：提供一具有薄膜晶体管阵列的下玻璃基板；应用光刻工艺在薄膜晶体管阵列上制备彩色滤光片和量测模块；其中，彩色滤光片位于液晶面板的有效区域内，彩色滤光片包括红色滤光单元、绿色滤光单元和蓝色滤光单元，量测模块位于液晶面板的有效区域外，量测模块与滤光单元具有相同的宽度；通过测量有效区域外的所述量测模块的宽度，获得有效区域内的滤光单元的宽度。本发明还提供了一种液晶面板的制作方法，在制作液晶面板的过程中采用前述的方法对彩色滤光单元宽度进行测量。本发明提供的测量方法能够有效的控制液晶面板制作过程中制备的彩色滤光单元的宽度，提高液晶面板的质量。

主权项

一种彩色滤光单元宽度的测量方法，用于在液晶面板加工工艺中测量彩色滤光单元的宽度，其特征在于，包括步骤：提供一具有薄膜晶体管（201）阵列的下玻璃基板（20）；应用光刻工艺在薄膜晶体管（201）阵列上制备彩色滤光片（203）和量测模块（303）；其中，所述彩色滤光片（203）位于液晶面板的有效区域（40）内，所述彩色滤光片（203）包括红色滤光单元（203R）、绿色滤光单元（203G）和蓝色滤光单元（203B）；所述量测模块（303）位于液晶面板的有效区域（40）外；所述量测模块（303）与滤光单元（203R、203G、203B）具有相同的宽度；通过测量有效区域（40）外的所述量测模块（303）的宽度，获得有效区域（40）内的滤光单元（203R、203G、203B）的宽度。