一种多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置

摘要

本发明涉及多晶硅生产中物料的处理领域，对于物料氯化氢的干燥问题一直没有得到性能和成本均为理想的工艺方案，本发明基于氯硅烷干燥氯化氢的方法，作了进一步的完善，工艺过程为氯化氢气体与氯硅烷蒸汽在文丘里混合器中进行混合，进入折流板反应罐中进行充分反应，最后通过高效除尘装置过滤氯化氢中的二氧化硅细粉，得到清洁干燥的氯化氢气体，本发明具有工艺简单，设备组成少，操作容易，干燥后的氯化氢含水量可以降到10-50ppm的有益效果。

主权项

一种多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置，其特征为干燥方法如下：（1）将氯硅烷通入加热器进行汽化；（2）将氯硅烷蒸汽与氯化氢气体在混合器中充分混合；（3）混合气体通入反应罐，通过水解反应干燥氯化氢气体，同时生成二氧化硅细粉；（4）含有二氧化硅细粉的氯化氢气体送入除尘器，除去二氧化硅细粉，得到干燥的氯化氢气体。